FESTO真空安全閥形成振動的過程是：當真空安全閥的工作壓力按設(shè)計要求調(diào)節(jié)，即調(diào)到超過油壓設(shè)備的工作油壓上限值3～4kg/cm2時，排油孔全開。YS-2.5型油壓設(shè)備工作油壓的上限值（額定油壓）為25kg/cm2。真空安全閥工作壓力則調(diào)到28～29kg/cm2，排油孔全開。油泵在壓力油箱的油壓升至額定油壓（25kg/cm2）時，油泵停機，即切斷電源。

這時進油管道之壓力已略大于25kg/cm2。由于油泵的停機，進油管道的進口，油泵附近形成低壓區(qū)，管道內(nèi)的壓力油向低壓區(qū)倒流，低壓區(qū)以很快的速度向進油管道中心傳遞。此時，油泵雖已切斷電源，則由于慣性，仍在以很大的遞減速度在旋轉(zhuǎn)，趨動油所形成的壓力峰也滯后低壓區(qū)向進油管道中心傳遞。與此同時，進油管道出口，靠近壓力油箱管道內(nèi)的壓力油，在慣性力作用下，仍繼續(xù)流進壓力油箱。

當慣性力耗盡，壓力油箱的壓力高于管道油壓，止回閥回復(fù)，和止回閥未回復(fù)到位，一部分油產(chǎn)生倒流所形成的壓力峰與油泵仍在趨動油所形成的壓力峰反向，向進油管道中心傳遞，在進油管道中心某處必然相碰，所形成的雙向油錘之壓力必定遠遠超過真空安全閥的工作壓力（兩壓力峰相碰之處并不一定在真空安全閥處，真空安全閥離兩壓力峰相碰的遠近正是真空安全閥振動有強弱區(qū)別的原因）。

雙向油錘所形成的巨大壓力是一個波峰，使排油腔活塞以很大的速度壓縮彈簧將排油孔全部打開。由于壓力峰過后是壓力低谷，并且壓力峰對彈簧的大幅度壓縮，所形成的彈簧彈力也大。排油腔活塞在受到巨大下壓力情況之下，快速沖擊閥體。始而復(fù)返，這就是真空安全閥形成振動的全過程，反振動強度即是沖擊波的強度，其振動頻率正是沖擊波的頻率。　　

由于油泵停機后，慣性所要克服的阻力很大，轉(zhuǎn)速的大幅度下降，趨動油形成壓力峰的能力越來越小，反壓力油箱的止回閥的一開、一關(guān)，逐漸趨近全關(guān)閉，所形成的壓力峰也越來越小，所以振動性質(zhì)為衰減振幅，其實整個振動過程僅幾秒鐘。